“吴教授,周同学,情况就是这个情况,至于3D堆叠结构的掩膜到底如何制作,我们现在是真的想不出太好的办法。”
“只能通过不停的试错,来制作出一种最佳的3D掩膜,但时间方面,我们真的不敢保证。”
“而且毫不夸张的说,就算你们去了湾机电,他们也不可能短时间内想到解决办法!”
杨鑫哭丧着一个脸说道,显然是刚刚郑炳良冲他说了些什么,希望可以争取到更多的时间。
“短时间不行,可我们就是想要赶时间啊……”
吴国安很是沮丧道,本以为这块3D存储芯片可以一帆风顺,没想到这才两天,就可能要胎死腹中!
“周华强,怎么办?”
思索许久,吴国安都想不到太好的方法,只能扭头问道,却发现此时的周华强也正在沉思着。
“周华强,你在想什么?”
“先想想怎么办吧,如果不行的话,你的MP3可能只能先用2D存储芯片,或者推迟上市了。”
吴国安轻叹一声,颇为无奈道。
“等等,我好像已经想到一种思路了。”
却在此时,周华强忽然抬头,目光灼灼的盯着技术员说道。
“你刚刚说,3D掩膜之所以没办法制作出来,是因为无法在竖直方向上制作出沟道结构。”
“那如果你们使用干法刻蚀工艺,通过将堆叠结构的刻蚀与硅外延层表面硅槽的形成相隔离,是不是就可以形成硅外延层表面的硅槽,从而能够有效控制浅硅槽的形成了?”
当周华强以极快的语速说出这番话时,震耳欲聋的芯片工厂内,似乎有一块区域瞬间进入了真空状态。
围绕在周华强身边的所有人,此时瞬间张口无言,瞪大双眼,第一时间根本没有听懂周华强到底在说什么!
干法刻蚀工艺?硅外延层?浅硅槽?
这都是什么东西啊?!
但下一刻,技术员的身体忽然开始轻微颤抖,然后越来越剧烈,最后竟变成了肉眼可见的激动!
“说得对啊!”
“干法刻蚀工艺,我怎么就没有想到?!”
“之前还以为是刻蚀机不够先进,原来是我的想法不够先进!”
“我悟了,我想通了,我现在就去设计新的3D掩膜!”
下一刻,技术员竟有如范进中举一般推开众人,快步跑出工厂,然后朝着实验室跑去!