五胡侵入中国，大部分士族逃到长江流域，遗留的士族，都投降新主人，帮着他们建立政权。最著称的如崔游、陈元达助刘渊，张宾助石勒，裴嶷、高瞻助慕容廆，阳裕助慕容皝，王隋助苻洪，王猛助苻坚，范长生助李雄，余人不可胜数，全是所谓衣冠望族。野蛮民族文化落后，没有统治中国的能力，只有得到这些无耻士流的援助，才能建立起政权。士族大半是地主豪强，如冀州刘姓，清河张姓、宋姓，并州王姓，濮阳侯姓，一姓将近万家，势力盛大。他们投靠异族，不仅本族得免徭役，还得荫庇许多贫户做自己的佃客。异族也利用他们，共同压迫汉族平民。石虎曾允许皇甫、胡、梁、韦、杜、牛、辛等十七姓为士族，有免役、做官及居住自由权。石虎残虐如虎，仍能保持地位，就是士族拥护的效力。慕容宝定士族旧籍，分别清浊，校阅户口，废除荫户，因此士族离心，燕国灭亡。
拓跋珪初入中原，引用士大夫作辅佐，大选臣僚，令各辨门第，保举贤能。拓跋焘擢用大族范阳卢玄、博陵崔绰、赵郡李灵、河间邢颖、勃海高允、广平游雅、太原张伟等数百人。拓跋濬定制，皇族王公侯伯及士庶人家不得与百工技巧卑姓通婚，犯者加罪。元宏诏此后贡举人才，必须选取高门。又诏厮养户（隶户）不得与庶士通婚。元诩要防止杂役户冒入清流，令在职官吏必须五人互保，无保革官还役。这种法令，只是代表士族的利益，法律上贫贱人永远不得出身。
北朝士族制度到元宏时代才完备。宏将迁都洛阳，韩显宗上书请分别住宅区域，不令士人与工、商、皂隶为邻。元宏制定族姓，皇族改姓元氏，拓跋氏改长孙氏，乙旃氏改叔孙氏，其他复姓都改单姓，穆、陆、贺、刘、楼、于、奚、尉八姓最贵。中国士族范阳卢氏、清河崔氏、荥阳郑氏、太原王氏四姓最高，与八姓有同等权利。四姓女得入宫当妃妾。陇西李氏、赵郡李氏，比四姓略卑，陇西李又比赵郡李贵些，女也得入宫。元宏给六个兄弟娶妻，指定元禧聘陇西李辅女，元幹聘代郡穆明乐女，元羽聘荥阳郑平城女，元雍聘范阳卢神宝女，元勰聘陇西李冲女，元详聘荥阳郑懿女，原娶王妃降为妾媵。其余诸州士族，多所升降。众议薛氏是河东名族，元宏说，薛氏出蜀，不得入郡姓。薛宗起立殿下，出班声辩道：“臣先人汉末仕蜀，二世复归河东，到现在已六世，不能再算蜀人。陛下系出黄帝，受封北土，难道也算胡人？”元宏无话可对，承认河东薛氏是郡姓。当时韩显宗怀疑这种“以贵袭贵，以贱袭贱”的办法，元宏说，八姓以外，士人品第有九等，九品以外，小人官品分七等。如果小人中有贤才，不妨提升高位，只怕贤才难得，不可为难得的人乱我典制。元宏确立士族制度以后，贵贱区分，牢不可破，齐孙搴出身寒贱，高欢赐搴韦氏为妻，韦是士族，大家觉得很光荣。郭琼犯罪死，子妇范阳卢氏女，没入官，高欢赐卢氏给陈元康。元康是寒人，大家以为是特赏。甚至寒贱人贵为皇帝，精神上还畏惧士族，高欢妻娄太后为博陵王高济娶崔氏女，敕济道：“好好做样子，不可使崔家笑话你。”
元宏大定族姓，实际为了鲜卑贵族与中国士族公平分配统治阶级的权利。元宏以后，人民接踵起义，从没有士族参加，这是元宏同化政策的成功。
元恪时尚书裴植自谓门第清高，官位不称，意常怏怏。及为尚书，志气骄满，每说“不是我要尚书，是尚书要我”。斥责征南将军田益宗，说华夷异类不应列在百世衣冠（士族）的上面。鲜卑人于忠、元昭切齿痛恨，把裴植杀死。植做鲜卑族的大官，又借百世衣冠傲人，心目中只知道门第高低，并不知道什么是华夷大义。
士族世系姻亲，等级分明，不容卑族冒滥，他们依同等门第，彼此通婚，汉族与鲜卑族间逐渐同化。民间华胡杂居，种类尤其繁杂。十六国时如翟斌是丁零族，卫驹是鲜卑族，鲁利、张骧、刘大是乌桓族，毕聪、卜胜、张延、李白、郭超是屠各族，他们都用中国姓名，杂居在乡村里，政治上与汉族平民同受压迫。这样的汉胡同化，与士族鲜卑贵族间的同化，性质完全不同。
曹丕始立九品中正制，形成南北朝的士族制度。南朝士族因陈亡而破败，北朝士族因官少人多而互争。元诩时冀州大中正张彝的儿子张均，奏请排抑武夫，不使预在清品，引起羽林军（皇帝卫兵）的大兵变。士族不能独占官位，失去它的意义，隋唐科举制度于是代士族制度而兴起。
