“那就白开水。”
很快刘欣就把光刻机的主要图示画了出来，然后推给了陆山河。
“够简单吧？”
陆山河很满意。
“还是你懂我。”
说完陆山河拿起笔，在每一个参数上都乘以10，然后问。
“你说我要是把光刻机放大十倍，是不是就好造的多了？”
刘欣一愣，笑了。
“你这想法哪儿来的？”
陆山河道。
“我记得刘所长说过，咱国产的光刻机当初用的就是大而稳的策略。”
刘欣点头道。
“今年我也看了不少光刻机的资料和论文，国内之前的光刻机的确是这个思路，但那都落后两代了，精度更是差了接近一百倍，长春光电所在这方面是翘楚，就这么说吧，哪怕有刘所长在，能让之前的设备更新一代，那也比美国的光刻机差的太远了，就更别提阿斯麦和尼康了。”
陆山河道。
“你有没有看过十年前一篇关于用水作为介质提高光源精度的论文？”
刘欣一愣。
“你说的是八七年，林教授那篇沉浸式光源方案的论文吧？那只是理论基础，实践起来很难的，就看尼康佳能都没采用就知道了。”
陆山河摇了摇头。
“这你就错了，尼康佳能之所以不采用，是因为他们的制程已经固定，有路径依赖，而咱们不同，咱们现在是起步阶段，要想追的上，必须要另辟蹊径，我觉得这个沉浸式光源方案就很好。如果咱们能采用沉浸式光源方案，那光刻机就没必要做的那么精密那么小了，你说对不对？”
刘欣抓了抓头发。
“你这个想法是挺大胆的，如果真的能成功，的确也能解决光源精度不够的问题，但光是这一点肯定是不够的，而且真要做那么大，材料恐怕都要自己研发，才行。”
